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普莱克斯为SMIC上海新厂提供气体

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出处:本文来源于网络
发布时间:2014/3/18 9:11:59

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[摘要提示]   普莱克斯中国与中芯国际集成电路制造有限公司(SMI)已签署了一项合约,其中普莱克斯将为SMIC的上海新晶圆8厂提供工业气体。  普莱克斯将对其张江高科技园区内现有工厂和管道进行升级,从而为该半导体工厂提供超高纯度氮气、氧气、氩气、氢气和氦气。普莱克斯还将建设并经营位于该地的净化和气体监控系统。  SMIC的晶圆8厂对其上海现有工厂进行了重大扩建,以采用90纳米技术生产300毫米晶圆。普莱克斯还为SMIC的上海现有晶圆厂及其北京12英寸晶圆厂供应产品。SMIC是中国最大的半导体芯片晶圆生产商和全球领先的集成电路制造商之一。

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