CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用

轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件.本文采用热丝化学气相沉积(简称CVD)法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜,制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器,并应用于轴承的精密磨削加工.结果表明,合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响.与传统硬质合金轴承支撑器相比,CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高.

超细晶粒金刚石涂层钻头的制备与实验

以钻头为例,根据其复杂形状衬底的特点,研究了一种新的化学预处理方法,并在传统化学气相沉积(CVD)工艺的基础上发展了一种新的CVD分阶段沉积法.实验以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法在复杂形状硬质合金(WC-Co)钻头最外表面复合涂覆一层超细晶粒金刚石薄膜,并对碳化硅颗粒增强铝基复合材料进行了钻削实验.结果表明,所制备的超细晶粒金刚石涂层薄膜表面光滑,晶粒尺寸细小,涂层质量良好.提高和改善了涂层刀具的耐用度和切削性能.