微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管

纳米碳管的低温合成是纳米碳管合成的一个重要研究方向.在众多的合成方法中,化学气相沉积法,特别是等离子体化学气相沉积法在纳米碳管的低温合成方面意义重大.本研究利用溶胶-凝胶法结合等离子体还原,获得了负载在SiO2上的纳米金属钴颗粒.以甲烷为碳源、氢气为载气,在纳米金属钴颗粒的催化作用下,利用微波等离子体化学气相沉积法在低于500℃的温度条件下合成了纯度较高的纳米碳管.

等离子体增强CVD法沉积的微晶硅薄膜的微结构研究

本文系统研究了PECVD法沉积μc-Si薄膜中衬低温度、氢气稀释率和射频功率等参数对μc-Si薄膜结构特性的影响.表明:随着衬低温度的增加、氢气稀释率的增大、射频功率的提高,薄膜的晶化率增大.沉积薄膜的晶化率最大可达80%,表面粗糙度大约为30nm.通过对反应过程中的能量变化进行了分析,得到反应为放热反应,且非晶结构对沉积参数比较敏感.

甲烷火焰中氢气对着火与燃尽的影响

利用化学反应动力学机理研究了甲烷-空气预混火焰添加H2的着火和燃尽特性。通过分析计算，讨论了氢气对甲烷燃烧过程及着火温度、燃烧速率、燃尽时间的影响。结果表明，甲烷火焰中少量氢气的存在不仅可以降低甲烷的着火温度，而且可以显著增大燃烧速率，缩短燃尽时间。这些结果与已有的实验结果吻合。

添加氢气对LPG/空气预混火焰结构的影响

针对氢气添加的LPG(液化石油气)+空气预混火焰结构进行了数值研究,详细计算了在含氢比a为O%到45%、稀释引子D为21%到16%条件下的自由蔓延火焰,得到了不同燃烧条件(φ=0.7-1.4)下的绝热燃烧速率变化规律.由于LPG中的主要成分为丙烷和丁烷,作者针对C3和C4物质提出了详细化学反应动力学系统,并针对氢气添加的丁烷燃烧过程进行了数值计算,得到了与实验相一致的结果,验证了改进的详细化学机理的有效性.此外,进一步计算了对撞双火焰的加氢LPG火焰,更加深入地探讨了火焰拉伸对燃烧稳定性和温度的影响,重点研究了φ在0.5到0.7的稀薄燃烧,验证了氢气添加可以有效提高稀薄燃烧条件下熄火拉伸率,扩

多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺

采用电子回旋共振等离子增强化学气相沉积(ECR-PECvD)方法,以SiH4和H2为气源,在普通玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜.利用XRD、Raman光谱和TEM研究了衬底温度、氢气流量和微波功率对多晶硅薄膜结构的影响.结果表明,制得的多晶硅薄膜多以(220)取向择优生长,少数条件下会呈现(111)择优取向.当衬底温度为300℃、H2流速为25 mL/min、微波功率为600 W时,多晶硅薄膜结晶状态最好,且呈最佳的(220)取向.