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| 专利名: |
一种三氯氢硅尾气变压吸附设备及其工艺 |
| 专利号: |
CN201010112675.7 |
| 关键字: |
变压吸附 |
| 专利类别: |
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| 使用范围: |
本发明公开了一种三氯氢硅尾气变压吸附设备及其工艺，吸附设备包括解析气换热器，所述解析气换热器上设有原料气进气管和出气管，在出气管上连接有吸附装置，吸附工艺包括以下步骤，原料尾气首先进入解析气换热器，换热后进入加热器加热后温度控制在70℃±2℃，然后再进入吸附装置进行吸附，吸附后的净化氢气由净化气管道出来，由管道送至HCL合成系统重新参加HCL合成，吸附后的解吸气通过解析气管道进入解析气换热器，换热后，进入解析气缓冲罐，由压缩机送至三氯氢硅合成系统中，重新回收利用。 |
| 申报人: |
李法曾,杨秀玲,丁培杰,宋宝东,苗乃芬,李法山,王建民,杨国堂 |
| 申报单位: |
山东新龙硅业科技有限公司 |
| 申报时间: |
2/10/2010 |
| 专利有效期限: |
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专利内容
申请（专利）号:
CN201010112675.7
申请日期:
2010-2-10
公开(公告)日:
2010-6-30
公开(公告)号:
CN101757831A
主分类号:
B01D53/047(2006.01)I
分类号:
申请（专利权）人:
山东新龙硅业科技有限公司
发明（设计）人:
李法曾,杨秀玲,丁培杰,宋宝东,苗乃芬,李法山,王建民,杨国堂
主申请人地址:
262700 山东省寿光市王高新龙工业园
专利代理机构:
济南舜源专利事务所有限公司 37205
代理人:
李江
国别省市代码:
山东;37
主权项:
一种三氯氢硅尾气变压吸附设备，包括解析气换热器(1)，所述解析气换热器(1)连通有原料气进气管(11)和出气管(12)，其特征在于：在出气管(12)上连通有吸附装置。
法律状态:
实质审查的生效
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