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专利名: |
从含氯硅烷尾气中回收氢气的方法 |
专利号: |
CN200910263587.4 |
关键字: |
变压吸附 |
专利类别: |
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使用范围: |
本发明公开了一种从含氯硅烷尾气中回收氢气的方法,采用变压吸附法,使原料气在包括至少三个吸附塔组成的变压吸附系统的各吸附塔中依次经过吸附和解吸的变压吸附过程,得到纯化的氢气,各吸附塔内分别按照常规的变压吸附过程进行循环操作;在吸附塔中装填的吸附剂包括氧化铝、硅胶、活性炭和分子筛。该方法可有效地从含有氢气、氯化氢及氯硅烷等成分的气体中分离、回收纯净氢气,氢气的回收率高,得到的产品中残留的氯化氢和氯硅烷等杂质含量低,氢气纯度高,同时还可将其中的氯化氢及氯硅烷等组分进行分离回收,且设备成本更为低廉、工艺更为简单、同时也更节约能耗。 |
申报人: |
张惊涛 |
申报单位: |
成都赛普瑞兴科技有限公司 |
申报时间: |
12/25/2009 |
专利有效期限: |
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专利内容
申请(专利)号:
CN200910263587.4
申请日期:
2009-12-25
公开(公告)日:
2010-6-16
公开(公告)号:
CN101732945A
主分类号:
B01D53/047(2006.01)I
分类号:
申请(专利权)人:
成都赛普瑞兴科技有限公司
发明(设计)人:
张惊涛
主申请人地址:
610041 四川省成都市武侯区武侯科技园武兴二路8号304
专利代理机构:
成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214
代理人:
刘明芳,吴彦峰
国别省市代码:
四川;51
主权项:
从含氯硅烷尾气中回收氢气的方法,采用变压吸附法,使原料气在包括至少三个吸附塔的变压吸附系统的各吸附塔中依次经过吸附和解吸的变压吸附过程,得到纯化的氢气,各吸附塔内分别按照常规的变压吸附过程进行循环操作;其特征在于:在吸附塔中装填的吸附剂包括硅胶、活性炭和分子筛。
法律状态:
实质审查的生效
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