您当前的位置: 气体分离设备商务网 → 技术专利
专利名: |
防止污染物到达气体净化器的系统 |
专利号: |
CN200810191123.2 |
关键字: |
空气分离 |
专利类别: |
|
使用范围: |
本发明涉及防止污染物到达气体净化器的系统,包括使用空气分离单元将供给分离单元的气体物流和污染物分离产生常规纯度气体物流;将离开空气分离单元的常规纯度气体物流引入气体净化器进一步去除污染物;使用至少一个设置在将常规纯度气体物流从空气分离单元引入气体净化器的管线上的污染物检测装置测定常规纯度气体物流中的污染物浓度,在污染物检测装置的下游提供至少一个缓冲容积,其中缓冲容积的尺寸使得在将常规纯度气体物流引入气体净化器之前保持预定体积的常规纯度气体,使得如果在缓冲容器的上游检测到的污染物浓度超过预定值,可以防止被污染的常规纯度气体物流到达气体净化器并引起放热反应。 |
申报人: |
T·R·舒尔特,M·H·豪克,K·R·佩斯,T·J·小伯格曼,B·D·沃里克,S·迪 桑托,R·博伊尔 |
申报单位: |
普莱克斯技术有限公司 |
申报时间: |
11/7/2008 |
专利有效期限: |
|
专利内容
申请(专利)号:
CN200810191123.2
申请日期:
2008-11-7
公开(公告)日:
2009-9-9
公开(公告)号:
CN101524611
主分类号:
B01D53/00(2006.01)I
分类号:
申请(专利权)人:
普莱克斯技术有限公司
发明(设计)人:
T·R·舒尔特,M·H·豪克,K·R·佩斯,T·J·小伯格曼,B·D·沃里克,S·迪 桑托,R·博伊尔
主申请人地址:
美国康涅狄格州
专利代理机构:
中国专利代理(香港)有限公司
代理人:
庞立志,韦欣华
国别省市代码:
美国;US
主权项:
1、一种系统,用于将常规纯度气体物流净化为超高纯度水平,从而产生超高纯度气体物流以及连续供应所述的超高纯度气体物流,同时保护该系统不发生放热反应,包括:(a)使用空气分离单元将供给该分离单元的气体物流和污染物分离,产生常规纯度气体物流;(b)将离开该空气分离单元的该常规纯度气体物流引入气体净化器以进一步去除污染物;(c)使用至少一个设置在将该常规纯度气体物流从该空气分离单元引入该气体净化器的管线上的污染物检测装置,来测定常规纯度气体物流中的污染物浓度,(d)在该污染物检测装置的下游提供至少一个缓冲容积,其中该缓冲容积的尺寸使得在将该常规纯度气体物流引入该气体净化器之前保持预定体积的该常规纯度气体,使得如果在缓冲容器的上游检测到的污染物浓度超过预定值,可以防止被污染的常规纯度气体物流到达该气体净化器并引起放热反应。
法律状态:
实质审查的生效
全文下载
|
|
|