一定流量、纯度的普氮和氢气同时进入装置中，在混合器是充分混合后，进入除氧器装置，在脱氧催化剂的作用下产生2H2+O2 =2H20的化学式，达到脱氧目的。脱氧后氮气中水气经过冷却器脱水，然后氮气继续进入由二只A和B组成的干燥器干燥，使氮气露点达到≤60℃左右，其中一只干燥器进行吸附干燥，另一只把已吸附饱和水气的干燥器进行再生，为下一周期吸附工作做好准备。经干燥后的氮气通过过滤器除尘，最后得到便是高纯氮气。

以液氨为原料，经汽化后把氨气加热到一定温度，在催化剂作用下，氨进行分解生成氢气和氮气，反应式为：2NH3→3H2+N2