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用氢气/甲醇混合气体在微波等离子体CVD中合成纳米晶粒金刚石膜
作者:满卫东 汪建华 王传新 马志斌 王升高 熊礼威 MAN Weidong WANG Jianhua W 浏览次数:2610 【关键词】氢气甲醇浓度混合气体微波等离子体合成纳米晶粒尺寸金刚石膜Plasma
CVDnanocrystalline
diamondscanning
tunneling
microscopyscanning
electron
microscopydiamond
filmschemical
vapor
depositiondeposition
temperature金刚石薄膜grain
sizediamond
thin
films拉曼光谱film
composition
【摘要】用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲醇的混合气体,在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)及扫描隧道显微镜(STM)对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了表征.通过SEM发现,提高甲醇浓度或降低沉积温度可以减小金刚石膜的晶粒尺寸.拉曼光谱显示薄膜中确实存在纳米晶粒的金刚石,并且薄膜的主要成分为金刚石.用AFM测得薄膜表面的粗糙度Rms<80m,STM观测晶粒的平均尺寸在10~20m之间.研究结果表明,用MPECVD方法,利用氢气和甲醇的混合气体是制备纳米晶粒金刚石膜的一种理想方法.
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