双侧无油涡旋真空泵填补国内空白

由中科院沈阳科仪公司开发的具有自主知识产权的双侧无油涡旋真空泵近日完成中试，进入规模化生产。经检测，该泵各项指标均达到国际同类产品水平，价格仅为进口产品的1／3。专家称，该泵的成功开发，填补了我国真空获得设备和应用领域的空白。
    
     双侧无油涡旋真空泵是在低真空段获得真空环境的主要设备之一，应用极其广泛。近 年来世界著名真空企业与科研单位都相继投入大量资金与技术进行开发研究，其中日本的ULVAC、德国的LH、美国的VARI- AN等技术居世界领先地位。但由于双侧无油涡旋真空泵的开发涉及涡旋压缩、真空动密封、精密加工、表面处理等高难技术，我国曾有一些企业研制，但均未获成功。所以，国内市场需求全部依赖进口。
    
     中科院沈阳科仪公司王光玉等人于1999年开始该泵的研究开发。由于该泵是在低压范围内工作，在泵的抽气流道中，不使用任何油类和密封液体等介质，只依靠动、静涡盘相对转动形成吸气腔和压缩腔，连续完成吸气、压缩和排气过程，将被抽气体排出。因此，对泵的密封要求极为严格。王光玉等人先后采用不同材质，经过多次试验，终于找到了 合适的密封材料。他们还大胆采用非接触式轴承代替接触式轴承，大大提高了耐磨性，解决了泵对轴承长寿命的使用要求。
    
     高精度动、静涡盘设计制造和工艺处理是该泵的技术难点和关键。动、静涡盘的涡旋体曲线为渐开线曲线，要求加工精度极高。王光玉等利用数控机床，采用程序控制达到了工艺要求。
    
     该泵具有特殊的免机动磨擦效能，减少了维护，降低了振动和噪音；其结构简单、检修方便，大大降低了维护频率与维修费用；泵的涡旋盘经过特殊表面处理，提高了耐磨性与耐蚀性。