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MWECR CVD高速沉积a-Si:H薄膜及热退火微观机理研究浏览次数:2054 【关键词】高速沉积
薄膜
热退火
热丝化学气相沉积
等离子体
硅氢键结构
表面
亚稳态
光敏性
衬底温度
微波电子回旋共振
可再生清洁能源
能级
捕获
原子
选择性吸附
实验
缺陷态密度
能量转化率
激发态物种
【摘要】环境污染和能源短缺一直影响着各国的持续发展,在众多可再生清洁能源中,光伏组件最有可能取代传统能源而成为新的能源。a-Si:H薄膜电池以其低廉的制造成本及容易实现大面积沉积,在光伏市场中有着广泛的应用前景。 微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECRCVD)和热丝化学气相沉积(HWCVD)是制备a-Si:H薄膜的两种重要方法,MWECRCVD产生的等离子体具有能量转化率高、气体分解充分、激发态物种和基团浓度高等优点;HWCVD能制备出低H含量和高稳定性的a-Si:H薄膜。实验后期,在原有MWECR设备基础上,引入热丝单元,以期结合两者的长处,制备出优质的a-Si:H薄膜。实验表明,由于热丝起到促进
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