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微型钯-银氢气传感器的制备与应用研究
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【摘要】氢气是一种取之不尽，用之不竭的清洁能源。作为一种较为理想的新型能源，其在化学、食品、电子等工农业生产方面有着广泛的应用。为了保障在各种含氢的工农业生产过程中，氢气能源的使用、转移和存储等应用方面的安全性，研究开发具有良好传感性能的氢气传感器已经成为人们日益关注的问题，在理论和实际应用中都具有非常重要的意义。 本课题研究了微型钯。银氢气传感器的制备与应用。论文的第一章对氢气传感器的发展现状作了详细综述；第二章系统介绍了利用微机电加工技术制备微型钯．银氢气传感器的具体加工方法及优化；第三章详细讨论了该传感器用于氢气的浓度检测等方面的传感性能；并在文章最后，对氢气传感器的未来发展方向作了展望。本工作
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