会员注册 | 二级域名申请 | 我能做什么? | 网站说明书 | 协议书下载 | 广告预定 | 企业邮局 | 标准库 | 关于我们 |
|
您当前的位置: 气体分离设备商务网 → 行业论文 → 制氢技术
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
作者:王加扣 吴卫东 孙卫国 邓红艳 程新路 唐永建 WANG Jia-kou WU Wei-dong S 浏览次数:1837 【关键词】螺旋波氢等离子体光谱诊断hydrogen
plasma等离子体化学气相沉积振动温度实验参数紫外发射光谱氢原子激发态温度的影响状态变化原子密度原位诊断压强相对密度气体产生关键因素功率增加电子温度
【摘要】利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体.通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fulcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响.结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素.
注意:本栏目部分文章来源于网络,如果其中涉及了您的版权,请及时联系我们,我们在核实后将在第一时间予以删除! 为减少服务器的外部调用流量负载,本网所有的pdf,rar,caj,zip格式的文件,均使用防盗链技术保护文件。 如何下载保存此附件? 请直接点击下载连接进入文件下载页面. |
广告 |
|
Copyright©2001版权所有_杭州汉皇网络科技有限公司 联系我们:webmaster@cngspw.com 浙ICP备10209442号-1 ICP经营许可证 浙B2-20100450 |
服务热线:0571-85065806 传真:0571-85065896 地址:杭州下城区高新技术产业基地电子商务园区费家塘路588号4号楼402-403室 |
主办单位:杭州汉皇网络科技有限公司 本网站法律顾问:汪卓君律师(浙江杭天信律师事务所) |
cngspw.com(hangzhou_china),Ltd;Allrights Reserved 版权声明 |
execute:263.672