您当前的位置: 气体分离设备商务网 → 行业论文 → 制氢技术
硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响
作者：多新中 刘卫丽 张苗 高剑侠 符晓荣 林成鲁 DUO Xinzhong LIU Weili ZHAN
出处：
发布时间：2011/9/4
浏览次数：1708
【摘要】用X射线四晶衍射仪测量了不同温度下退火的注氢单晶硅的摇摆曲线,分析了不同温度退火后晶格内应力产生及消失的过程.并与离子背散射沟道分析进行了比较.结果表明,在400℃左右,氢注入形成的氢复合体分解,形成氢分子,氢分子在晶格中聚集,生成氢气,在高温下膨胀,引起晶格形变,并产生缺陷;当退火温度达到500℃以后,氢气的膨胀已超过晶体的屈服强度,产生了大量的缺陷、位错,同时在硅晶体内形成气泡,并在硅晶体表面造成砂眼、剥离等现象.
 |
此文章被设置为[]才可以浏览。 解决方法：假如你是[]，请登录网站。 |
注意：本栏目部分文章来源于网络，如果其中涉及了您的版权，请及时联系我们，我们在核实后将在第一时间予以删除！
为减少服务器的外部调用流量负载，本网所有的pdf,rar,caj,zip格式的文件，均使用防盗链技术保护文件。
如何下载保存此附件？
请直接点击下载连接进入文件下载页面.
广告
