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金刚石膜中氮杂质状态的研究
作者:金曾孙 吕宪义 杨广亮 吴汉华 李哲奎 刘建设 JIN Zeng-sun LU Xian-yi YA 浏览次数:2064 【关键词】金刚石膜氮杂质状态diamond
filmsChemical
Vapor
Deposition天然金刚石红外吸收谱杂质含量实验氢气流量拉曼光谱高温高压法制磁共振谱沉积环境荧光谱氮浓度中心检测
【摘要】用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质.沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少.
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