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微型氢气传感器的结构设计与仿真分析
作者:徐仁庆 殷晨波 何茂先 XU Ren-qing YIN Chen-bo HE Mao-xian 浏览次数:2095 【摘要】基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理,提出了一种微型氢气传感器结构设计.针对几个主要设计参数,利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析.通过分析和比较,完成了对微型氢气传感器结构的优化设计,并对优化后的传感器进行了瞬态分析.分析结果表明:所设计的传感器结构符合设计要求.
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