不锈钢衬底的预处理条件对碳纳米管薄膜场发射性能的影响

作者：樊志琴张兵临姚宁鲁占灵杨仕娥马丙现 Fan Zhiqin Zhang binglin YA
出处：
发布时间：2011/9/4

浏览次数：2650

【关键词】不锈钢衬底预处理条件碳纳米管膜薄膜发射性能Carbon NanotubesEmission Propertiescurrent densitychemical vapor deposition发射电流密度等离子体化学气相沉积机械抛光microwave plasmaelectric field样品酸洗steel plateshydrogen gas开启场强

【摘要】在不同预处理条件的不锈钢衬底上,利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法从甲烷和氢气的混合气体中沉积碳纳米管薄膜,并对其场发射性能进行了研究.实验发现,不锈钢衬底的机械抛光和酸洗,能降低碳纳米管膜的开启场强,增大它的发射电流密度.在场强为6.25V/μm时,衬底未处理样品的电流密度为1.2mA/cm2,而衬底抛光的样品和衬底抛光又酸洗的样品的电流密度分别达到3.2和2.75mA/cm2.衬底只需机械抛光,而不需要酸洗,就能改良碳纳米管膜的场发射性能.

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