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BOC 爱德华兹在台开建第二阶段管网

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发布时间:2006/12/5 13:36:53

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BOC 爱德华兹公司与其台湾合作伙伴LOC 联华(B OCLH )在台北新竹科学园投入了3000 万美元开工建设第二阶段的氮气扩产及其管道分销网络。在过去的18 年中,该管网的供应一直保持稳定增长,这与快速发展的体外半导体工业及各个新一代晶圆投资对于气体需求的增长是相一致的。为了保证未来的需求,BOC 爱德华兹在其最近的扩张中,已开建其最大的半导体级氮发生器,其产能为3 5000Nm3 小。依靠运行在园区内的总计9 套装置及一套纵横交错的地下管网,该系统可以通过无可匹敌的供应安全性一半导体制造商的严格要求。增建的第10 套大产能装置将进一步加强其供应能力,并且可以提供不间断的、安全的气体供应以满足新竹不断增长的30Omm 晶圆长的需求。

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