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帖子主题:螺旋波激发等离子体实验研究与铁梯度薄膜制备 |
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【关键词】螺旋波激发等离子体,,等离子密度,,气相沉积装置,,梯度薄膜,,
【摘要】本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波激发等离子体的发生装置,并以氢气为工作气体,对射频源功率P<,rf>、工作压强P及磁场强度B等影响等离子体电子密度n<,e>的工艺参数进行了考察;以氢气为载气,甲烷和二茂铁为工作物质,采用双气路进样系统,在国内首次制备出铁梯度薄膜.
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