工业气体在国民经济中的应用知识十六

在电子、半导体、光纤工业中的应用

    大批量工业气体，在电子工业方向主要是氮气，在这20年内呈高速发展，如日本1980年高纯度的是用量仅6.5吨/年，而到1999年，高纯度硅的用量增加到150吨/年扩大的23倍。日本大批量气体每月需用1.58亿m³,19999年的营业额达到530亿日元。

    江苏法尔胜光子有限公司由江苏法尔胜集团和澳大利亚光子技术研究中心合资组建，投资3000万美元，主要从事光纤和光纤棒生产。目前国内的光纤80%依赖进口，光纤棒100%依赖进口。法尔胜光子有限公司就看好这个市场。为此，上海三钢梅塞尔已将这个法尔胜项目列为现场供气的样板工程，争取首次服务好我国的光纤生产行业。预计年销售额可达1200万元人民币，到第三期结束全部投产可达2200万人民币。

    据《CryoGas Intemational》2001年第3期报道，位于华盛顿D.C的华盛顿Camegie研究所的科学家们将氮气压缩到240万大气压，最后将其变成了半导体固状物。他们还在如此高的压力下对浓缩气体进行了电气测量。科学家们惊奇地发现，当压力回复到一个大气压时，固状物仍保持稳定不变。该氮的浓缩状态可存贮大量能量，它将很可能成为一种新颖半导体材料。普莱克斯公司将成为上海正在建设中的世界上最新的半导体制造中心的工业气体和特种气体的主要供应商。该公司已与以上海为基础的半导体制造国际公司（SMIC）签订了十五年的供气合同，向SMIC公司建在上海浦东张江高技术园的三家半导体生产厂供气。协议要求普莱克斯（中国）建造一台空分设备和一台氢气生产装置。普莱克斯公司将向生产厂家供应气氧、气氮、氩气、氢气和液氦，还将向浦东附近的芯片厂供气。

    美国空气制品公司最近推出MegaBIP系统（带内纯化装置），它可向半导体行业提供特高纯电子用气。该系统的产量、纯度通过每只容器提供的验收合格证来保证，与一般采用外纯化装置的系统比较，该项技术可确保气体纯度的提高。在Y型气瓶或管式拖车里装有专有的纯化装置，它就可确保对水分敏感的气体如HCL含水量小于100×10^-9。采用该装置，可降低用户拥有的总成本。