高纯电子气
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品种名称 |
英文名 |
化学式 |
纯度(%) |
充装容器(L) |
充装量(Kg) |
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氨气 |
Ammonia |
NH3 |
99.999% |
44、16、8 |
22.7、6.8、4.1 |
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99.9997% |
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砷烷 |
Arsine |
AsH3 |
99.999% |
50、25、10、5 |
22.7、11.3、4.5、2.3 |
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99.9999% |
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三氯化硼 |
Boron trichloride |
BCl3 |
99.99% |
44、16 |
36.3、10 |
|
99.999% |
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三氟化硼 |
Boron trifluoride |
BF3 |
99.99% |
44、16、8、7 |
27.2、9.1、4.5 |
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99.995% |
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氯气 |
Chlorine |
Cl2 |
99.99% |
49、44、16、8 |
45.4、40.8、18.1、4.5 |
|
99.999% |
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二氯二氢硅 |
Dichlorosilane |
SiH2Cl2 |
99.0% |
44、16 |
40.9、10 |
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99.9% |
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三氟甲烷 |
Halocarbon-23 |
CHF3 |
99.995% |
44、16 |
31.8、5.0 |
|
99.999% |
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氯化氢 |
Hydrogen chloride |
HCl |
99．995% |
49、44、16 |
31.7、27.2、9.1 |
|
99．9995% |
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氧化亚氮 |
Nitrous oxide |
N2O |
99.97% |
44、16、8 |
27．2、9.0、4.5 |
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99.9998% |
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三氟化氮 |
Nitrogen trifluoride |
NF3 |
99.7% |
44、17 |
20、7.7 |
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99.995% |
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SiCl4 |
Silicon tetrachloride |
SiCl4 |
99.94% |
210MC、38L |
272、45.4 |
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硅烷 |
Silane |
SiH4 |
99.999% |
49、44 |
14、10 |
|
99.9995% |
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磷烷 |
Phosphine |
PH3 |
99.999% |
44、16、8、3 |
13．6、4.1、2.3、0.7 |
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