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| 帖子主题：特种气体 |
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特种气体入门
(A little about special gases) 一、 气体分类 目前国内外对气体产品类型的分类没有统一规定，比较混乱，有按用途分类的，有按纯度分类的，有按气体性质分类的。 1、 以用途分类： a. 普通气体：工业上大量使用的低纯度气体，如工业氮、工业氧、工业氢等。 b. 特种气体：从某种意义上讲，特种气体是工业气体进一步加工的产品，它的建立和发展与现代工业气体的大规模生产有着密切的关系。一般包括三种类型：标准气、混合气、纯气。 c. 电子气：电子专业应用的某些特种气体，如：SF6、C2F6、BF3、WF6等。 2、 以气体纯度划分可分为： a. 工业气体 纯度<99.9% <3N b. 纯气体 纯度99.9~99.998% 3N~4.8N c. 高纯气体 纯度99.999% >5N 目前纯度大于99.9999%的瓶装气体，国内外几乎还没有，虽然有些领域（如电子工业）的使用中已提出了纯度高于99.9999%产品的要求，例如半导体工业中用于大规模集成电路砷化镓半导体及其相应电器外延等，通常采用终端纯化以及管道输送的方法获得。 3、 按产品性质划分可分为： a. 非化合物无机气体：以O2、N2稀有气体为主以及氢、氯、氟 ~10种； b. 无机化合物气体：如：FBr 、NO、CO、SiH4等 ~30种； c. 有机化合物气体：主要为碳氢化合物及其氟、氯等化合 ~90种； 以上三种分类是相互有联系的。 |
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纯度高于99.9999%产品的要求,早就有!现在是数个PPB
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电子气：电子专业应用的某些特种气体中是否有颗粒度的要求，要求的范围是多少，数量级是多大
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