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高纯氦族气体制备 工业氦族体主要杂质是氮、氧·水分·一氧化碳·二氧化碳·和烃类 １脱氮 脱氮时,有时伴着脱氧，用金属吸气剂吸收·金属吸气剂有钙、钛、铀和锆铝１６. 用金属钙做吸气剂,同时吸收氮和氧,反应温度650 用钛，锆铝１６可以同时吸收氧、氮、氢，水蒸气,一氧化碳,二氧化碳和烃 2 脱氧 用化学法脱氧,常用的脱氧剂有氧化锰和Ag-X分子筛 用氧化锰吸收氧,工作温度 常温用Ag-X分子筛脱氧, 氧脱除到3PPm 3 脱氢 脱除氢用氧化铜和Pd-X分子筛 用氧化铜脱除氢·,反应温度350 用Pd-X分子筛脱除氢·,反应温度350 4 碳化物的脱除, 用金属剂锆铝１６在脱碳的同时,一次性脱除一氧化碳,二氧化碳,和烃类.,可达1PPm
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