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在线式超高纯气体纯化器
作者：木村正城； 韩美；
出处：转载低温与特气 ,LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES , 编辑部邮箱 ,1994年03期
发布时间：2012/9/18 12:40:54
浏览次数：9265
【摘要】在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。
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