四氟化硅气体中杂质的检测方法

作者：唐安江韦德举高珊珊关星宇
出处：本文来源于网络
发布时间：2011/11/24 12:22:51

浏览次数：6048

【摘要】介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法.用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1~C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等气体杂质;用微波波谱仪可以检测出四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等气体杂质;用质谱仪可以检测出四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等气体杂质.通过对比得出每种检测方法的优点和缺点.

对不起，您没有浏览此文章的正文部分的权限。

原因：

此文章被设置为[]才可以浏览。

解决方法：

假如你是[]，请登录网站。
如果您还不是，请先注册一个新用户。

·我要注册一个用户

·我要登录网站。

注意：本栏目部分文章来源于网络，如果其中涉及了您的版权，请及时联系我们，我们在核实后将在第一时间予以删除！

为减少服务器的外部调用流量负载，本网所有的pdf,rar,caj,zip格式的文件，均使用防盗链技术保护文件。

如何下载保存此附件？

请直接点击下载连接进入文件下载页面.